电动汽车碳化硅功率芯片外延材料制备研究
文献类型：学位论文
| Author | 汪久龙 |
| Issued Date | 2022-06 |
| Subtype | 硕士 |
| Degree Grantor | 中国科学院大学 |
| Place of Degree Grantor | 中国科学院半导体研究所 |
| Language | 中文 |
| Available Date | 2022-06 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/31071]  |
| Collection | 半导体研究所_中科院半导体材料科学重点实验室 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 汪久龙. 电动汽车碳化硅功率芯片外延材料制备研究[D]. 中国科学院半导体研究所. 中国科学院大学. 2022. |
入库方式： OAI收割
来源：半导体研究所
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