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高精度MEMS陀螺仪与测控电路系统关键技术研究

文献类型:学位论文

作者胥鹏飞
答辩日期2022-06
文献子类博士
授予单位中国科学院大学
授予地点中国科学院半导体研究所
语种中文
公开日期2022-06
源URL[http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/31082]  
专题半导体研究所_半导体集成技术工程研究中心
推荐引用方式
GB/T 7714
胥鹏飞. 高精度MEMS陀螺仪与测控电路系统关键技术研究[D]. 中国科学院半导体研究所. 中国科学院大学. 2022.

入库方式: OAI收割

来源:半导体研究所

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