4H-SiC UMOSFETs 器件设计与关键工艺研发
文献类型:学位论文
作者 | 郭志煜 |
答辩日期 | 2022-06 |
文献子类 | 博士 |
授予单位 | 中国科学院大学 |
授予地点 | 中国科学院半导体研究所 |
语种 | 中文 |
公开日期 | 2022-06 |
源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/31084] |
专题 | 半导体研究所_半导体集成技术工程研究中心 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 郭志煜. 4H-SiC UMOSFETs 器件设计与关键工艺研发[D]. 中国科学院半导体研究所. 中国科学院大学. 2022. |
入库方式: OAI收割
来源:半导体研究所
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