The Recent Progress of MEMS/NEMS Resonators
文献类型：期刊论文
| 作者 | Wei, Lei; Kuai, Xuebao; Bao, Yidi; Wei, Jiangtao; Yang, Liangliang; Song, Peishuai; Zhang, Mingliang; Yang, Fuhua; Wang, Xiaodong |
| 刊名 | MICROMACHINES
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| 出版日期 | 2021 |
| 卷号 | 12期号:6页码:724 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/31187]  |
| 专题 | 半导体研究所_半导体集成技术工程研究中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Wei, Lei; Kuai, Xuebao; Bao, Yidi; Wei, Jiangtao; Yang, Liangliang; Song, Peishuai; Zhang, Mingliang; Yang, Fuhua; Wang, Xiaodong. The Recent Progress of MEMS/NEMS Resonators[J]. MICROMACHINES,2021,12(6):724. |
| APA | Wei, Lei; Kuai, Xuebao; Bao, Yidi; Wei, Jiangtao; Yang, Liangliang; Song, Peishuai; Zhang, Mingliang; Yang, Fuhua; Wang, Xiaodong.(2021).The Recent Progress of MEMS/NEMS Resonators.MICROMACHINES,12(6),724. |
| MLA | Wei, Lei; Kuai, Xuebao; Bao, Yidi; Wei, Jiangtao; Yang, Liangliang; Song, Peishuai; Zhang, Mingliang; Yang, Fuhua; Wang, Xiaodong."The Recent Progress of MEMS/NEMS Resonators".MICROMACHINES 12.6(2021):724. |
入库方式： OAI收割
来源：半导体研究所
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