偏振和位相调控分光膜的设计与制备
文献类型：期刊论文
| 作者 | 潘永刚2; 张四宝1; 刘政1; 刘文成1; 李绵1; 张春娟1; 罗长新1 |
| 刊名 | 红外与激光工程
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| 出版日期 | 2022-05-25 |
| 卷号 | 51期号:5 |
| 关键词 | 光学薄膜 分光膜 消偏振 位相 等效层 |
| ISSN号 | 10072276 |
| DOI | 10.3788/IRLA20210512 |
| 其他题名 | Design and fabrication of polarization and phase modulated beam splitter |
| 产权排序 | 1 |
| 英文摘要 | 偏振和位相调控分光膜是自由空间量子通信系统中不可缺少的光学元件，其性能直接影响通信质量，决定通信误码率。基于等效层设计理论，采用“介质+金属+介质”的特殊膜系结构，选用Ag金属和SiO2、Al2O3、Ta2O5三种介质膜料作为镀膜材料，实现石英衬底45°入射时，1 500～1 600 nm波段消偏振平均透射/反射比为8.5:91.5，在1 530、1 540、1 550、1 560 nm控制位相的分光膜。采用电子束蒸发离子辅助沉积技术，优化沉积工艺，制备了分光膜样品。检测结果表明：在45°入射条件下，1 500～1 600 nm波段光谱平均透射/反射比为8.53:91.47，在1 530、1 540、1 550、1 560 nm处透射光位相差控制在5.02°以内，反射光位相差控制在8.05°以内，满足通信系统分光比及位相控制的要求。此外，该分光膜通过了相应的环境试验测试，满足可靠性要求。 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/96017]  |
| 专题 | 先进光学元件试制中心 |
| 作者单位 | 1.中国科学院西安光学精密机械研究所 2.长春理工大学中山研究院 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 潘永刚,张四宝,刘政,等. 偏振和位相调控分光膜的设计与制备[J]. 红外与激光工程,2022,51(5). |
| APA | 潘永刚.,张四宝.,刘政.,刘文成.,李绵.,...&罗长新.(2022).偏振和位相调控分光膜的设计与制备.红外与激光工程,51(5). |
| MLA | 潘永刚,et al."偏振和位相调控分光膜的设计与制备".红外与激光工程 51.5(2022). |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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