用高技术提高电子基础原料的档次，使电子行业步入良性发展轨道——等离子体技术在材料行业的应用
文献类型：会议论文
| 作者 | 马兵 |
| 出版日期 | 2004 |
| 会议名称 | 第二届高新技术用石英制品及相关材料技术与市场研讨会 |
| 会议日期 | 2004-10 |
| 会议地点 | 中国江苏无锡 |
| 关键词 | 高频等离子体:5142 等离子体技术:4724 基础原料:3126 电子行业:3006 金属电子材料:2737 集成电路:2637 发展轨道:2625 高技术:1979 电子元器件:1898 等离子体法:1882 |
| 页码 | 13 |
| 中文摘要 | <正>一、前言自从1958年出现了集成电路以来,集成电路的发展带来了电子计算机的微小型化,从而使人类社会掀开了信息时代新的一页。而电子材料是新型电子元器件基础产品领域中所用的以其电性能为主要应用的材料。其品种繁多,根据材料的化学性质,可以分为金属电子材料,电子陶瓷,高分子电子材料等。根据 |
| 会议录 | 第二届高新技术用石英制品及相关材料技术与市场研讨会论文集
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| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.ipe.ac.cn/handle/122111/2463]  |
| 专题 | 过程工程研究所_研究所（批量导入） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 马兵. 用高技术提高电子基础原料的档次，使电子行业步入良性发展轨道——等离子体技术在材料行业的应用[C]. 见:第二届高新技术用石英制品及相关材料技术与市场研讨会. 中国江苏无锡. 2004-10. |
入库方式： OAI收割
来源：过程工程研究所
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