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光子晶体硅基集成激光研究及CMOS兼容技术开发

文献类型:学位论文

作者王明金
答辩日期2022-08-01
文献子类博士后
授予单位中国科学院大学
授予地点中国科学院半导体研究所
语种中文
公开日期2022-08-01
源URL[http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/31340]  
专题半导体研究所_固态光电信息技术实验室
推荐引用方式
GB/T 7714
王明金. 光子晶体硅基集成激光研究及CMOS兼容技术开发[D]. 中国科学院半导体研究所. 中国科学院大学. 2022.

入库方式: OAI收割

来源:半导体研究所

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