一种制备润湿性可控的高光滑高硬TiN薄膜的方法
文献类型：专利
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| 作者 | 柯培玲; 王振玉; 张栋; 汪爱英; 谢仕芳 |
| 发表日期 | 2015 |
| 著作权人 | 汪爱英 |
| 文献子类 | 发明专利 |
| 申请日期 | 2013-08-26 |
| 源URL | [http://ir.nimte.ac.cn/handle/174433/25763]  |
| 专题 | 专利成果_专利 |
| 作者单位 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 柯培玲,王振玉,张栋,等. 一种制备润湿性可控的高光滑高硬TiN薄膜的方法, 一种制备润湿性可控的高光滑高硬TiN薄膜的方法, 一种制备润湿性可控的高光滑高硬TiN薄膜的方法, 一种制备润湿性可控的高光滑高硬TiN薄膜的方法, 一种制备润湿性可控的高光滑高硬TiN薄膜的方法, 一种制备润湿性可控的高光滑高硬TiN薄膜的方法, 一种制备润湿性可控的高光滑高硬TiN薄膜的方法, 一种制备润湿性可控的高光滑高硬TiN薄膜的方法. 2015-01-01. |
入库方式： OAI收割
来源：宁波材料技术与工程研究所
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