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抛光方法及系统

文献类型：专利

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作者	夏庆华; 肖可; 闵孟斌; 金勤晓
发表日期	2017-11-10
著作权人	张驰
文献子类	发明专利
申请日期	2014-02-28
源URL	[http://ir.nimte.ac.cn/handle/174433/25955]
专题	专利成果_专利
作者单位	中国科学院宁波材料技术与工程研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	夏庆华,肖可,闵孟斌,等. 抛光方法及系统, 抛光方法及系统, 抛光方法及系统, 抛光方法及系统, 抛光方法及系统, 抛光方法及系统, 抛光方法及系统, 抛光方法及系统. 2017-11-10.

入库方式： OAI收割

来源：宁波材料技术与工程研究所

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