一种掺杂类金刚石薄膜及其制备方法
文献类型：专利
| ; ; ; ; ; ; ; | |
| 作者 | 孙丽丽; 汪爱英; 李晓伟; 徐胜; 王骏; 郭鹏 |
| 发表日期 | 2018-07-06 |
| 著作权人 | 汪爱英 |
| 文献子类 | 发明专利 |
| 申请日期 | 2015-05-30 |
| 源URL | [http://ir.nimte.ac.cn/handle/174433/27179]  |
| 专题 | 专利成果_专利 |
| 作者单位 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 孙丽丽,汪爱英,李晓伟,等. 一种掺杂类金刚石薄膜及其制备方法, 一种掺杂类金刚石薄膜及其制备方法, 一种掺杂类金刚石薄膜及其制备方法, 一种掺杂类金刚石薄膜及其制备方法, 一种掺杂类金刚石薄膜及其制备方法, 一种掺杂类金刚石薄膜及其制备方法, 一种掺杂类金刚石薄膜及其制备方法, 一种掺杂类金刚石薄膜及其制备方法. 2018-07-06. |
入库方式： OAI收割
来源：宁波材料技术与工程研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。