一种基于熔融直写的三维光子器件互连方法
文献类型:专利
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作者 | 郭建军; 唐玉蓉; 徐鼎鼎; 雷雨; 许高杰 |
发表日期 | 2019-10-18 |
著作权人 | 许高杰 |
文献子类 | 发明专利 |
申请日期 | 2017-08-29 |
源URL | [http://ir.nimte.ac.cn/handle/174433/28006] ![]() |
专题 | 专利成果_专利 |
作者单位 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 郭建军,唐玉蓉,徐鼎鼎,等. 一种基于熔融直写的三维光子器件互连方法, 一种基于熔融直写的三维光子器件互连方法, 一种基于熔融直写的三维光子器件互连方法, 一种基于熔融直写的三维光子器件互连方法, 一种基于熔融直写的三维光子器件互连方法, 一种基于熔融直写的三维光子器件互连方法, 一种基于熔融直写的三维光子器件互连方法, 一种基于熔融直写的三维光子器件互连方法. 2019-10-18. |
入库方式: OAI收割
来源:宁波材料技术与工程研究所
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