一种黑硅钝化膜、其制备方法及应用
文献类型：专利
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| 作者 | 叶继春; 廖明墩; 曾俞衡; 闫宝杰; 高平奇; 王丹; 童慧; 全成; 张志 |
| 发表日期 | 2021-04-30 |
| 著作权人 | 杨熹 |
| 文献子类 | 发明专利 |
| 申请日期 | 2018-05-22 |
| 源URL | [http://ir.nimte.ac.cn/handle/174433/28183]  |
| 专题 | 专利成果_专利 |
| 作者单位 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 叶继春,廖明墩,曾俞衡,等. 一种黑硅钝化膜、其制备方法及应用, 一种黑硅钝化膜、其制备方法及应用, 一种黑硅钝化膜、其制备方法及应用, 一种黑硅钝化膜、其制备方法及应用, 一种黑硅钝化膜、其制备方法及应用, 一种黑硅钝化膜、其制备方法及应用, 一种黑硅钝化膜、其制备方法及应用, 一种黑硅钝化膜、其制备方法及应用. 2021-04-30. |
入库方式： OAI收割
来源：宁波材料技术与工程研究所
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