一种多孔硅薄膜的制备装置
文献类型：专利
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| 作者 | 邬苏东; 芦子玉; 叶继春; 夏金才; 张欢; 杨熹; 杨阵海 |
| 发表日期 | 2018-03-13 |
| 著作权人 | 杨熹 |
| 文献子类 | 实用新型 |
| 申请日期 | 2017-09-14 |
| 源URL | [http://ir.nimte.ac.cn/handle/174433/28197]  |
| 专题 | 专利成果_专利 |
| 作者单位 | 1.宁波升日太阳能电源有限公司 2.中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 邬苏东,芦子玉,叶继春,等. 一种多孔硅薄膜的制备装置, 一种多孔硅薄膜的制备装置, 一种多孔硅薄膜的制备装置, 一种多孔硅薄膜的制备装置, 一种多孔硅薄膜的制备装置, 一种多孔硅薄膜的制备装置, 一种多孔硅薄膜的制备装置, 一种多孔硅薄膜的制备装置. 2018-03-13. |
入库方式： OAI收割
来源：宁波材料技术与工程研究所
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