高温与电子束辐照共同作用下SiO_x材料的结构演化研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 梁芮,陈国新,黄钦,王楠,唐发俊,张志佳,卢焕明,康建立 |
| 刊名 | 电子显微学报
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| 出版日期 | 2021 |
| 卷号 | 40期号:4页码:367-372 |
| 英文摘要 | 本文利用透射电子显微镜原位加热技术研究了高温下SiO_x材料的结构演化行为,并通过EELS谱分析了SiO_x材料结构的化学组成变化。研究结果表明:在高温作用下,电子束辐照对SiO_x材料的相分离过程起到了促进作用;高密度电子束辐照是SiO_x材料中产生孔状结构的主要原因;SiO_x材料在高温和电子束辐照作用下,会快速形成纳米硅镶嵌在多孔二氧化硅薄膜中的特殊结构。 |
| 源URL | [http://ir.nimte.ac.cn/handle/174433/22550]  |
| 专题 | 2021专题_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 梁芮,陈国新,黄钦,王楠,唐发俊,张志佳,卢焕明,康建立. 高温与电子束辐照共同作用下SiO_x材料的结构演化研究[J]. 电子显微学报,2021,40(4):367-372. |
| APA | 梁芮,陈国新,黄钦,王楠,唐发俊,张志佳,卢焕明,康建立.(2021).高温与电子束辐照共同作用下SiO_x材料的结构演化研究.电子显微学报,40(4),367-372. |
| MLA | 梁芮,陈国新,黄钦,王楠,唐发俊,张志佳,卢焕明,康建立."高温与电子束辐照共同作用下SiO_x材料的结构演化研究".电子显微学报 40.4(2021):367-372. |
入库方式： OAI收割
来源：宁波材料技术与工程研究所
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