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一种真空镀膜装置

文献类型：专利

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作者郭武明; 王海新; 蒲吉斌; 王立平; 张学东; 郑文茹; 吴斌
发表日期2019-09-20
著作权人赵文杰
文献子类实用新型
申请日期2019-01-16
源URL[http://ir.nimte.ac.cn/handle/174433/28333]  
专题专利成果_专利
作者单位中国科学院宁波材料技术与工程研究所
推荐引用方式
GB/T 7714		 郭武明,王海新,蒲吉斌,等. 一种真空镀膜装置, 一种真空镀膜装置, 一种真空镀膜装置, 一种真空镀膜装置, 一种真空镀膜装置, 一种真空镀膜装置, 一种真空镀膜装置, 一种真空镀膜装置. 2019-09-20.

入库方式： OAI收割

来源：宁波材料技术与工程研究所

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