制备隧穿氧钝化接触结构的快速退火方法
文献类型：专利
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| 作者 | 廖明墩; 叶继春; 曾俞衡; 闫宝杰; 杨清; 张志; 郭雪琪; 黄玉清; 王志学 |
| 发表日期 | 2021-08-24 |
| 著作权人 | 杨熹 |
| 文献子类 | 发明专利 |
| 申请日期 | 2019-04-18 |
| 源URL | [http://ir.nimte.ac.cn/handle/174433/28342]  |
| 专题 | 专利成果_专利 |
| 作者单位 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 廖明墩,叶继春,曾俞衡,等. 制备隧穿氧钝化接触结构的快速退火方法, 制备隧穿氧钝化接触结构的快速退火方法, 制备隧穿氧钝化接触结构的快速退火方法, 制备隧穿氧钝化接触结构的快速退火方法, 制备隧穿氧钝化接触结构的快速退火方法, 制备隧穿氧钝化接触结构的快速退火方法, 制备隧穿氧钝化接触结构的快速退火方法, 制备隧穿氧钝化接触结构的快速退火方法. 2021-08-24. |
入库方式： OAI收割
来源：宁波材料技术与工程研究所
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