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C2H2/Ar 流量比对 a-C:H 涂层结构及摩擦学性能的影响

文献类型:期刊论文

作者闫明明2,3; 剡珍1,3; 王新宇2,3; 鲁晓龙1,3; 随旭东1,3; 郝俊英3; 刘维民3
刊名摩擦学学报
出版日期2022-05
卷号42期号:3页码:588-597
语种中文
源URL[http://ir.licp.cn/handle/362003/29163]  
专题兰州化学物理研究所_固体润滑国家重点实验室
通讯作者郝俊英
作者单位1.青岛市资源化学与新材料研究中心, 山东 青岛 266000
2.中国科学院大学, 北京 100049
3.中国科学院兰州化学物理研究所 固体润滑国家重点实验室 , 甘肃 兰州 730000
推荐引用方式
GB/T 7714
闫明明,剡珍,王新宇,等. C2H2/Ar 流量比对 a-C:H 涂层结构及摩擦学性能的影响[J]. 摩擦学学报,2022,42(3):588-597.
APA 闫明明.,剡珍.,王新宇.,鲁晓龙.,随旭东.,...&刘维民.(2022).C2H2/Ar 流量比对 a-C:H 涂层结构及摩擦学性能的影响.摩擦学学报,42(3),588-597.
MLA 闫明明,et al."C2H2/Ar 流量比对 a-C:H 涂层结构及摩擦学性能的影响".摩擦学学报 42.3(2022):588-597.

入库方式: OAI收割

来源:兰州化学物理研究所

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