High Quality Conformal Coatings on Accelerator Components via Novel Radial Magnetron with High-Power Impulse Magnetron Sputtering
文献类型：会议论文
| 作者 | W.M. Huber; I. Haehnlein; T.J. Houlahan; B.E. Jurczyk; A.S. Morrice; R.A. Stubbers |
| 出版日期 | 2022 |
| 会议日期 | 2022 |
| 会议地点 | USA |
| 会议录 | Proceedings of the North American Particle Accelerator Conference
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| 源URL | [http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/296867]  |
| 专题 | 学术会议_国际参会_JaCoW高能所参会会议_NA-PAC |
| 作者单位 | Starfire Industries LLC, Champaign, USA |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | W.M. Huber,I. Haehnlein,T.J. Houlahan,et al. High Quality Conformal Coatings on Accelerator Components via Novel Radial Magnetron with High-Power Impulse Magnetron Sputtering[C]. 见:. USA. 2022. |
入库方式： OAI收割
来源：高能物理研究所
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