Characterization of Atomic-Layer-Deposited NbTiN and NbTiN/AlN Films for SIS Multilayer Structures
文献类型：会议论文
| 作者 | Z. Sun; M. Liepe; T.E. Oseroff |
| 出版日期 | 2021 |
| 会议日期 | 2021 |
| 会议地点 | USA |
| 会议录 | Proceedings of the 20th International Conference on RF Superconductivity
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| 源URL | [http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/297330]  |
| 专题 | 学术会议_国际参会_JaCoW高能所参会会议_SRF |
| 作者单位 | Cornell University (CLASSE), Cornell Laboratory for Accelerator-Based Sciences and Education, Ithaca, New York, USA |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Z. Sun,M. Liepe,T.E. Oseroff. Characterization of Atomic-Layer-Deposited NbTiN and NbTiN/AlN Films for SIS Multilayer Structures[C]. 见:. USA. 2021. |
入库方式： OAI收割
来源：高能物理研究所
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