基于电镜图像的集成电路金属圆孔自动识别方法及系统
文献类型：专利
| 作者 | 沈丽君 ; 洪贝; 韩华; 陈曦
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| 发表日期 | 2021-02 |
| 专利号 | ZL 2020 1 1396899.5 |
| 著作权人 | 中国科学院自动化研究所 |
| 国家 | 中华人民共和国 |
| 文献子类 | 发明专利 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.ia.ac.cn/handle/173211/50845]  |
| 专题 | 类脑智能研究中心_微观重建与智能分析 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 沈丽君,洪贝,韩华,等. 基于电镜图像的集成电路金属圆孔自动识别方法及系统. ZL 2020 1 1396899.5. 2021-02-01. |
入库方式： OAI收割
来源：自动化研究所
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