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一种离子束运动截面的调整装置

文献类型:专利

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作者李海洋 ; 曲丕丞 ; 赵无垛 ; 陈平 ; 崔华鹏
专利国别待填写
专利号CN201110428208.X
专利类型专利
关键词物理化学
权利人中国科学院大连化学物理研究所
中文摘要物理化学
是否PCT专利实审
学科主题马驰
公开日期2011-12-19
语种2013-6-19
资助信息本发明公开了一种离子束运动截面的调整装置,主要由前置电极、对电极a和b、后置电极组成。前置和后置电极用于减少对电极a、b的电场向外渗透。对电极a和对电极b上添加不同的电压。当离子束在对电极a、b运动的过程中,各个离子经过的路程相同,但因为对电极a、b的电压不同,离子在对电极a和b的运动时间不同,导致离子束离开对电极b时的截面发生变化。通过改变对电极a和b的接口形状和电压,使得离子束在离开对电极b时可以形成特定的形状。此外,根据需要可多级串联使用,对离子束进行多维度调节。
专利证书号CN201110428208.X
专利申请号CN
专利代理中国科学院大连化学物理研究所
源URL[http://159.226.238.44/handle/321008/118745]  
专题大连化学物理研究所_中国科学院大连化学物理研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
李海洋,曲丕丞,赵无垛,等. 一种离子束运动截面的调整装置, 一种离子束运动截面的调整装置. CN201110428208.X.

入库方式: OAI收割

来源:大连化学物理研究所

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