原子层沉积TiO2:Al2O3薄膜电阻率调控机制研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 李继超 |
| 答辩日期 | 2023 |
| 文献子类 | 硕士 |
| 授予单位 | 中国科学院大学 |
| 授予地点 | 北京 |
| 导师 | 赵卫 |
| 关键词 | 原子层沉积 微通道板 导电层 二氧化钛 氧化铝 |
| 页码 | 72 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/96573]  |
| 专题 | 西安光学精密机械研究所_研究生部 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李继超. 原子层沉积TiO2:Al2O3薄膜电阻率调控机制研究[D]. 北京. 中国科学院大学. 2023. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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