一种Ni柱子辅助PMMA微透镜阵列及其制备方法
文献类型：专利
| 作者 | 梁小筱; 伊福廷 ; 刘静; 王波; 张天冲; 颜铭铭; 徐源泽
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| 发表日期 | 2021 |
| 专利号 | CN113608285 |
| 著作权人 | 中国科学院高能物理研究所 |
| 文献子类 | 发明专利 |
| 英文摘要 | 本发明公开了一种Ni柱子辅助PMMA微透镜阵列及其制备方法。本方法为：1)在镀铬金的硅片上电镀Ni柱子阵列；2)在电镀有Ni柱子阵列的所述硅片上旋涂一层液态PMMA后进行烘干处理；3)运用套刻技术，将X射线掩膜版与所述硅片上的Ni柱子对准，然后进行曝光、显影后得到具有PMMA柱子阵列的样品，其中所述PMMA柱子阵列中每一PMMA柱子内部包含一Ni柱子；4)将步骤3)所得样品放入烘箱中加热，使得所述PMMA柱子阵列中的各PMMA柱子热熔为微透镜，得到微透镜阵列。本发明通过在PMMA柱子中加入Ni柱子，达到的增加微透镜接触角的效果，进而能够制备接触角较大的微透镜阵列。 |
| 公开日期 | 2021 |
| 源URL | [http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/298106]  |
| 专题 | 高能物理研究所_多学科研究中心 中国科学院高能物理研究所 |
| 作者单位 | 中国科学院高能物理研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 梁小筱,伊福廷,刘静,等. 一种Ni柱子辅助PMMA微透镜阵列及其制备方法. CN113608285. 2021-01-01. |
入库方式： OAI收割
来源：高能物理研究所
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