导光装置、薄膜的均匀性测试装置和方法
文献类型：专利
| 作者 | 钱森 ; 夏经铠; 朱纳
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| 发表日期 | 2017 |
| 专利号 | CN107179053 |
| 著作权人 | 中国科学院高能物理研究所 |
| 文献子类 | 发明专利 |
| 英文摘要 | 本发明公开一种导光装置、薄膜的均匀性测试装置和方法，导光装置用于向一待测试器件输出光线，并回收反射的光线，导光装置包括至少一入射导光件和多个反射导光件，入射导光件与反射导光件均为线形导光件；入射导光件两端分别为入射端和发射端，入射端能与一光源装置光连接，光线经入射端输入至入射导光件；多个反射导光件两端均分别为反射端和输出端，多个反射端与发射端平行对齐，且多个反射端围绕于发射端外周，输出端能与一光学测试装置光线连接；入射导光件的发射端与反射导光件的反射端组成导光装置的测试端，测试端垂直对齐侍测试器件的表面薄膜的均匀性测试装置能以测试输出端导出光线的强度，就可以间接表征起反射作用的薄膜的均匀性。 |
| 公开日期 | 2017 |
| 源URL | [http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/298537]  |
| 专题 | 高能物理研究所_实验物理中心 |
| 作者单位 | 中国科学院高能物理研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 钱森,夏经铠,朱纳. 导光装置、薄膜的均匀性测试装置和方法. CN107179053. 2017-01-01. |
入库方式： OAI收割
来源：高能物理研究所
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