一种超导腔中温退火方法
文献类型：专利
| 作者 | 贺斐思 ; 潘卫民; 沙鹏; 米正辉; 刘佰奇; 靳松; 翟纪元; 戴旭文; 葛锐; 李中泉
|
| 发表日期 | 2020 |
| 专利号 | CN111800933 |
| 著作权人 | 中国科学院高能物理研究所 |
| 文献子类 | 发明专利 |
| 英文摘要 | 本发明公开了一种超导腔中温退火方法，本方法为：1)对超导腔的内表面进行电化学抛光及清洗；2)如果超导腔为已除氢的超导腔，则进行步骤3)；否则对超导腔进行高温退火，然后进行步骤3)；3)将超导腔置于真空炉中，抽真空并加热至中温区，保温一段时间进行中温退火。本发明相比传统超导腔处理工艺能够进一步降低超导腔的表面电阻，从而减小超导腔的功耗，并且能够简化工艺流程。 |
| 公开日期 | 2020 |
| 源URL | [http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/298236]  |
| 专题 | 高能物理研究所_加速器中心 高能物理研究所_管理与技术支持 |
| 作者单位 | 中国科学院高能物理研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 贺斐思,潘卫民,沙鹏,等. 一种超导腔中温退火方法. CN111800933. 2020-01-01. |
入库方式： OAI收割
来源：高能物理研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。