一种纯铌腔内表面镀铌三锡薄膜的方法及真空炉
文献类型：专利
| 作者 | 刘佰奇 ; 董超; 沙鹏; 翟纪元
|
| 发表日期 | 2020 |
| 专利号 | CN111074208 |
| 著作权人 | 中国科学院高能物理研究所 ; 上海三井真空设备有限公司 |
| 文献子类 | 发明专利 |
| 英文摘要 | 本发明公开了一种纯铌腔内表面镀铌三锡薄膜的方法及真空炉。本发明的真空炉特征在于，包括由外真空系统与内真空系统构成的双真空结构；其中，外真空系统内设有用于对内真空系统加热的加热器以及用于测量内真空系统设定区域温度的测温探头；所述内真空系统内设有一铌腔吊装装置，该旋转吊装装置用于连接待镀膜的铌腔和锡坩埚，并通过传动机构对铌腔进行循环转动。通过该真空炉，可在纯铌腔内镀一层纯净、完全覆盖、均匀分布的铌三锡薄膜，从而实现铌三锡在超导腔上的应用。 |
| 公开日期 | 2020 |
| 源URL | [http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/298294]  |
| 专题 | 高能物理研究所_加速器中心 |
| 作者单位 | 中国科学院高能物理研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘佰奇,董超,沙鹏,等. 一种纯铌腔内表面镀铌三锡薄膜的方法及真空炉. CN111074208. 2020-01-01. |
入库方式： OAI收割
来源：高能物理研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。