一种超导腔氮掺杂方法
文献类型：专利
| 作者 | 沙鹏 ; 刘佰奇; 董超; 郑洪娟; 米正辉; 翟纪元
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| 发表日期 | 2018 |
| 专利号 | CN108277450 |
| 著作权人 | 中国科学院高能物理研究所 |
| 文献子类 | 发明专利 |
| 英文摘要 | 本发明公开了一种超导腔氮掺杂方法。本方法为：1)将超导腔整体放入超声清洗池进行清洗，再用纯水将超导腔内、外均冲洗干净、晾干；然后对超导腔的内表面进行缓冲化学抛光；然后清洗超导腔内表面、晾干；2)将步骤1)处理后的所述超导腔放入真空炉中进行加热，加热至设定温度后，在该设定温度和压力对真空炉进行除氢处理；3)除氢处理结束后，将真空炉的抽气阀门关闭，注入高纯氮气且真空炉内压力保持在2～4Pa，将氮掺入超导腔表面；4)氮气注入结束后，对真空炉进行除氮气处理；5)除氮气处理结束后，对真空腔保温设定时间，完成超导腔的氮掺杂。本发明能够进一步降低超导腔的表面电阻，从而减小超导腔的功耗。 |
| 公开日期 | 2018 |
| 源URL | [http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/298484]  |
| 专题 | 高能物理研究所_加速器中心 |
| 作者单位 | 中国科学院高能物理研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 沙鹏,刘佰奇,董超,等. 一种超导腔氮掺杂方法. CN108277450. 2018-01-01. |
入库方式： OAI收割
来源：高能物理研究所
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