一种多层膜劳埃透镜的离线表征方法
文献类型：专利
| 作者 | 岳帅鹏 ; 周亮; 常广才; 冀斌
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| 发表日期 | 2021 |
| 专利号 | CN113640330 |
| 著作权人 | 中国科学院高能物理研究所 |
| 文献子类 | 发明专利 |
| 英文摘要 | 本发明公开了一种多层膜劳埃透镜的离线表征方法，其步骤包括：1)在基底上镀制多层膜，其中每隔一设定间隔插入一个标志层；2)将多层膜的端面做抛光处理；3)使用扫描电子显微镜拍摄每两个相邻标志层之间的图像；4)将每一副所述图像进行处理，得到每一层膜的厚度值：5)根据各相邻两层膜的厚度生成一个周期性局部光栅，使用CWT方法计算光栅出射面的电场分布作为多层膜劳埃透镜出射面的电场分布；6)利用菲涅耳‑基尔霍夫衍射积分，计算电场从出射面传播到焦平面的强度分布。本发明基于测量膜层的实际厚度计算其对多层膜劳埃透镜聚焦性能的影响。 |
| 公开日期 | 2021 |
| 源URL | [http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/298104]  |
| 专题 | 高能物理研究所_多学科研究中心 |
| 作者单位 | 中国科学院高能物理研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 岳帅鹏,周亮,常广才,等. 一种多层膜劳埃透镜的离线表征方法. CN113640330. 2021-01-01. |
入库方式： OAI收割
来源：高能物理研究所
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