一种LIGA技术的埋丝光刻胶片及其制备方法
文献类型：专利
| 作者 | 伊福廷 ; 刘静; 张天冲; 王波
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| 发表日期 | 2020 |
| 专利号 | CN111430872 |
| 著作权人 | 中国科学院高能物理研究所 |
| 文献子类 | 发明专利 |
| 英文摘要 | 本发明公开了一种LIGA技术的埋丝光刻胶片及其制备方法，其步骤包括：1)选取两片PMMA光刻胶片和一有机丝；2)将该有机丝放在两片PMMA光刻胶片之间；3)将两所述PMMA光刻胶片相对的两面融合在一起包裹该有机丝，得到埋丝光刻胶片。本发明提供了一种全新的埋丝方法，与传统埋丝方法截然不同，而且埋丝位置易于调控且效率高，埋丝光刻胶片的成品率高。 |
| 公开日期 | 2020 |
| 源URL | [http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/298258]  |
| 专题 | 高能物理研究所_多学科研究中心 |
| 作者单位 | 中国科学院高能物理研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 伊福廷,刘静,张天冲,等. 一种LIGA技术的埋丝光刻胶片及其制备方法. CN111430872. 2020-01-01. |
入库方式： OAI收割
来源：高能物理研究所
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