光栅外差干涉系统及其滚转角测量方法
文献类型:专利
作者 | 汤善治![]() ![]() ![]() |
发表日期 | 2018 |
专利号 | CN108775878 |
著作权人 | 中国科学院高能物理研究所 |
文献子类 | 发明专利 |
英文摘要 | 本发明公开一种光栅外差干涉系统,属于激光精密测量技术领域。该系统包括设置于待测量对象的第一侧的激光源、偏振分光棱镜、反射器、角锥棱镜、第一波片和第二波片;设置于所述待测量对象上的第一光栅和第二光栅;以及设置于所述待测量对象的第二侧的平面反射镜组。 |
公开日期 | 2018 |
源URL | [http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/298443] ![]() |
专题 | 高能物理研究所_多学科研究中心 |
作者单位 | 中国科学院高能物理研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 汤善治,李明,盛伟繁,等. 光栅外差干涉系统及其滚转角测量方法. CN108775878. 2018-01-01. |
入库方式: OAI收割
来源:高能物理研究所
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