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一种扫描薄板结构的工业CL系统的扫描装置

文献类型:专利

作者阙介民; 魏存峰; 孙翠丽; 舒岩峰; 孟凡辉; 曹大泉; 杨胜宇; 史戎坚; 魏龙
发表日期2016
专利号CN105445292
著作权人中国科学院高能物理研究所
文献子类发明专利
英文摘要一种扫描薄板结构的工业CL系统的扫描装置,所述扫描装置包括X射线源、探测器,载物台,所述载物台设于该X射线源与该探测器之间;该载物台包括倾斜角度调节转台、扫描转台和载具,通过所述倾斜角度调节转台和扫描转台活动地支撑所述载具;该载具固定供承载一待测样品,所述扫描转台驱动该载具以一水平线为轴旋转;该倾斜角度调节转台能够带动该载具以一垂线为轴旋转;该载具的中心与该X射线源光源出口、该探测器中心能位于同一水平面上。本发明的装置能够轻易调整待测样品的倾斜角度,使扫描方式多样灵活,能够在多种扫描倾斜角、360度旋转角下对板状结构样品进行断层扫描成像。
公开日期2016
源URL[http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/298663]  
专题高能物理研究所_核技术应用研究中心
作者单位中国科学院高能物理研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
阙介民,魏存峰,孙翠丽,等. 一种扫描薄板结构的工业CL系统的扫描装置. CN105445292. 2016-01-01.

入库方式: OAI收割

来源:高能物理研究所

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