一种实现板状样品高分辨率大视野CL成像的扫描方法
文献类型:专利
作者 | 王雅霄; 魏存峰![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() |
发表日期 | 2016 |
专利号 | CN105319225 |
著作权人 | 中国科学院高能物理研究所 |
文献子类 | 发明专利 |
英文摘要 | 本发明提出一种实现板状样品高分辨率大视野CL成像的扫描方法。本方法包括步骤:输入参数,调整并确认拼接子图像的数目及方式,数据采集过程,数据拼接,输出结果等。采用在高放大比条件下对板状样品分块扫描采集投影数据,利用正方形“田字格”或六边形“蜂窝状”方式进行图像拼接的方法,最终得到大面积板状样品的高分辨率大视野断层图像。 |
公开日期 | 2016 |
源URL | [http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/298670] ![]() |
专题 | 高能物理研究所_核技术应用研究中心 |
作者单位 | 中国科学院高能物理研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 王雅霄,魏存峰,刘宝东,等. 一种实现板状样品高分辨率大视野CL成像的扫描方法. CN105319225. 2016-01-01. |
入库方式: OAI收割
来源:高能物理研究所
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