一种用于等离子体正时点火的微型离子源
文献类型：专利
| 作者 | 陈卫东 ; 朱仁丽; 李辉; 薛康佳; 吕永佳
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| 发表日期 | 2020 |
| 专利号 | CN211184391U |
| 著作权人 | 散裂中子源科学中心 ; 中国科学院高能物理研究所 |
| 文献子类 | 实用新型 |
| 英文摘要 | 本实用新型公开了一种用于等离子体正时点火的微型离子源，包括底座，嵌套在底座上的阳极，装设在阳极一侧的阴极，装设在阳极与阴极之间的迷宫隔离陶瓷层，套设在阴极外壁与底座密封连接的绝缘外罩，所述绝缘外罩与阴极密封连接，所述阴极的内部为真空室，所述阴极的一侧设置有与真空室相连通的注气孔，所述迷宫隔离陶瓷层上设置有第一等离子体引出孔，所述阳极上设置有第二等离子体引出孔，所述第二等离子体引出孔的尺寸略小于第一等离子体引出孔，所述底座上设置有中孔，其具有溅射产额小、点火迅速、点火定时精确稳定、结构简单紧凑、具有防水功能、使用寿命长的优点。 |
| 公开日期 | 2020 |
| 源URL | [http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/297897]  |
| 专题 | 高能物理研究所_东莞分部 东莞分部_加速器技术部 |
| 作者单位 | 中国科学院高能物理研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈卫东,朱仁丽,李辉,等. 一种用于等离子体正时点火的微型离子源. CN211184391U. 2020-01-01. |
入库方式： OAI收割
来源：高能物理研究所
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