氮化硅粉体制备技术及粉体质量研究进展
文献类型：期刊论文
| 作者 | 向茂乔; 耿玉琦; 朱庆山 |
| 刊名 | 化工学报
 |
| 出版日期 | 2022 |
| 卷号 | 73期号:01页码:73-84 |
| 关键词 | 氮化硅 粉体技术 碳热氮化法 硅粉直接氮化法 化学气相沉积法 硅胺前体转化法 合成机理 |
| ISSN号 | 0438-1157 |
| 英文摘要 | 氮化硅(Si_3N_4)具有优异的物化性能,在国防、电子信息等关键领域都占据重要的地位。高质量粉体是制备高性能Si_3N_4陶瓷的首要前提。通常高质量Si_3N_4粉体需要满足粒径细、分布窄、α相含量高、杂质含量低等条件。基于合成反应体系综述了当前国内外制备Si_3N_4粉体的方法,着重从强化传热与传质角度介绍了改善粉体质量的研究进展,并介绍了当前工业生产现状,展望了高质量Si_3N_4粉体制备技术的发展趋势和方向。 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 资助机构 | 中国科学院青年创新促进会人才项目(292021000085) ; 南京绿色制造产业创新研究院重大项目(E0010708) |
| 源URL | [http://ir.ipe.ac.cn/handle/122111/57586]  |
| 作者单位 | 1.中国科学院大学化学工程学院 2.中国科学院过程工程研究所多相复杂系统国家重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 向茂乔,耿玉琦,朱庆山. 氮化硅粉体制备技术及粉体质量研究进展[J]. 化工学报,2022,73(01):73-84. |
| APA | 向茂乔,耿玉琦,&朱庆山.(2022).氮化硅粉体制备技术及粉体质量研究进展.化工学报,73(01),73-84. |
| MLA | 向茂乔,et al."氮化硅粉体制备技术及粉体质量研究进展".化工学报 73.01(2022):73-84. |
入库方式： OAI收割
来源：过程工程研究所
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