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光学望远镜镜片旋转镀膜修正挡板的仿真设计
文献类型：期刊论文
| 作者 | 孙伟超 ; 许竞; 林星魁; 艾力·伊沙木丁
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| 刊名 | 表面技术
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| 出版日期 | 2022-04-01 |
| 卷号 | 51期号:4页码:342-347 |
| 关键词 | 真空镀膜 蒸发源 光学薄膜 膜厚均匀性 修正挡板 数值分析 |
| ISSN号 | 1001-3660 |
| DOI | 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2022.04.036 |
| 其他题名 | Simulation Design of Correction Masks for Optical Telescope Mirrors in Rotating Coating System |
| 产权排序 | 1 |
| 英文摘要 | 目的 提高新疆天文台南山观测基地ZZS1800-1/G真空镀膜机的膜厚均匀性指标。方法 通过建立旋转行星夹具系统的膜厚分布模型，利用高精度数值计算，基于ZZS1800-1/G真空镀膜机，研究镀膜机结构参数与镜面几何结构对膜厚均匀性的影响，分析蒸发源位置、望远镜镜片参数与修正挡板形状的关系，并进行修正挡板的仿真设计与验证。结果 在旋转行星夹具系统中，蒸发源与原点的距离对半径较大的镜面膜厚均匀性的影响最为明显。该距离600 mm以内，在镜面半径小于100 mm时，膜厚均匀性均低于1.7%；镜面半径为600mm时，膜厚均匀性最佳，为23%。加入修正挡板后，膜厚均匀性理论计算值为0.035%。在镀半径为600mm的镜片时，为保证均匀性小于1%，修正挡板的加工形变量要控制在2.2%以内。结论 加入修正挡板可有效提高ZZS1800-1/G真空镀膜机的膜厚均匀性，本文建立的仿真模型可为ZZS1800-1/G真空镀膜机在实际镀膜工作时修正挡板的设计提供理论参考依据。 |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:7225779 |
| 源URL | [http://ir.xao.ac.cn/handle/45760611-7/5103]  |
| 专题 | 新疆天文台_光学天文与技术应用研究室 |
| 通讯作者 | 孙伟超 |
| 作者单位 | 中国科学院新疆天文台 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 孙伟超,许竞,林星魁,等. 光学望远镜镜片旋转镀膜修正挡板的仿真设计[J]. 表面技术,2022,51(4):342-347. |
| APA | 孙伟超,许竞,林星魁,&艾力·伊沙木丁.(2022).光学望远镜镜片旋转镀膜修正挡板的仿真设计.表面技术,51(4),342-347. |
| MLA | 孙伟超,et al."光学望远镜镜片旋转镀膜修正挡板的仿真设计".表面技术 51.4(2022):342-347. |
入库方式： OAI收割
来源：新疆天文台
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