Improvement in dispersion stability of alumina suspensions and corresponding chemical mechanical polishing performance
文献类型：期刊论文
| 作者 | Wang, WT; Zhang, BG; Shi, YH; Zhou, DK; Wang, R |
| 刊名 | APPLIED SURFACE SCIENCE
 |
| 出版日期 | 2022 |
| 卷号 | 597页码:153703 |
| ISSN号 | 0169-4332 |
| DOI | 10.1016/j.apsusc.2022.153703 |
| 文献子类 | Article |
| 电子版国际标准刊号 | 1873-5584 |
| 语种 | 英语 |
| WOS记录号 | WOS:000807360500001 |
| 源URL | [http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/299217]  |
| 专题 | 高能物理研究所_粒子天体物理中心 |
| 作者单位 | 中国科学院高能物理研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Wang, WT,Zhang, BG,Shi, YH,et al. Improvement in dispersion stability of alumina suspensions and corresponding chemical mechanical polishing performance[J]. APPLIED SURFACE SCIENCE,2022,597:153703. |
| APA | Wang, WT,Zhang, BG,Shi, YH,Zhou, DK,&Wang, R.(2022).Improvement in dispersion stability of alumina suspensions and corresponding chemical mechanical polishing performance.APPLIED SURFACE SCIENCE,597,153703. |
| MLA | Wang, WT,et al."Improvement in dispersion stability of alumina suspensions and corresponding chemical mechanical polishing performance".APPLIED SURFACE SCIENCE 597(2022):153703. |
入库方式： OAI收割
来源：高能物理研究所
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