基于XRT的晶圆检测技术进展
文献类型：期刊论文
| 作者 | 卢嘉倩; 魏存峰 ; 王哲; 刘宝东
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| 刊名 | 中国体视学与图像分析
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| 出版日期 | 2022 |
| 卷号 | 27期号:02页码:156-168 |
| ISSN号 | 1007-1482 |
| DOI | 10.13505/j.1007-1482.2022.27.02.009 |
| 文献子类 | Article |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/300590]  |
| 专题 | 高能物理研究所_核技术应用研究中心 |
| 作者单位 | 中国科学院高能物理研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 卢嘉倩,魏存峰,王哲,等. 基于XRT的晶圆检测技术进展[J]. 中国体视学与图像分析,2022,27(02):156-168. |
| APA | 卢嘉倩,魏存峰,王哲,&刘宝东.(2022).基于XRT的晶圆检测技术进展.中国体视学与图像分析,27(02),156-168. |
| MLA | 卢嘉倩,et al."基于XRT的晶圆检测技术进展".中国体视学与图像分析 27.02(2022):156-168. |
入库方式： OAI收割
来源：高能物理研究所
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