一种半导体材料瞬态折射率超快检测装置
文献类型：专利
| 作者 | 尹飞 ; 汪韬; 闫欣; 高贵龙; 何凯; 田进寿
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| 发表日期 | 2021-01-15 |
| 专利号 | CN202020651280.3 |
| 著作权人 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 实用新型 |
| 产权排序 | 1 |
| 英文摘要 | 本实用新型一种半导体材料瞬态折射率超快检测装置，解决现有半导体折射率变化测量方法，无法满足对脉冲入射及脉冲响应特性检测需求的问题。该装置包括高功率脉冲激光器、第一分束镜、脉冲X射线激励单元、探针光调控单元、第二分束镜及信号读出单元；第一分束镜位于脉冲激光器的出射方向，将脉冲激光器产生激光光束分为A光束和B光束；脉冲X射线激励单元位于A光束出射方向，对脉冲激光产生X射线，探针光调控单元位于B光束的出射方向，产生探针光，探针光和X射线同时到达半导体超快探测芯表面；X射线对半导体超快探测芯片折射率进行调制，进而改变探针光的光谱强度；信号读出单元探测探针光光谱强度变化，获得芯片对X射线的响应过程。 |
| 语种 | 中文 |
| 状态 | 授权 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/96887]  |
| 专题 | 条纹相机工程中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 尹飞,汪韬,闫欣,等. 一种半导体材料瞬态折射率超快检测装置. CN202020651280.3. 2021-01-15. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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