一种晶圆剥离方法和晶圆剥离装置
文献类型：专利
| 作者 | 王宏建; 赵卫 ; 何自坚; 杨涛; 王自
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| 发表日期 | 2022-05-24 |
| 专利号 | CN202011242999.2 |
| 产权排序 | 2 |
| 英文摘要 | 一种晶圆剥离方法和晶圆剥离装置，属于半导体材料加工技术领域。晶圆剥离方法包括：将晶锭内部的加工面划分成多个区域，使用激光束依次对多个区域进行加工形成改质层，当改质层贯穿于晶锭内部，剥离得到晶圆。激光束在对每一个区域进行加工时，采用冷却流体环绕喷射晶锭的表面以冷却正在加工区域的边缘和/或边缘的外侧。采用冷却流体环绕喷射晶锭的表面并作用于正在加工区域的边缘形成环形流场，使得激光束在形成每个区域的改质层时，激光束作用晶锭内部的能量更加集中于改质层形成区域，以减少能量对未加工区域的影响。实现更加精准的改质层的加工，有利于晶锭内部诱导应力层的产生，从而提高晶圆的剥离质量，以获得高质量的晶圆。 |
| 语种 | 中文 |
| 状态 | 授权 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/96930]  |
| 专题 | 西安光学精密机械研究所_瞬态光学技术国家重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王宏建,赵卫,何自坚,等. 一种晶圆剥离方法和晶圆剥离装置. CN202011242999.2. 2022-05-24. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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