一种高真空环境控制压力的进气装置
文献类型：专利
| 作者 | 王亚军 ; 赛建刚; 高斌; 赵燕; 高博; 韩磊; 张海民; 贾琦; 于攀龙
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| 发表日期 | 2021-01-15 |
| 专利号 | CN202020381461.9 |
| 著作权人 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 实用新型 |
| 产权排序 | 1 |
| 英文摘要 | 本实用新型公开了一种高真空环境控制压力的进气装置。使得对深空探测和压力在102Pa量级以下的低气压试验可以的有效实施，该装置包括第一调节阀、一级压力调节腔、细微通道、微调阀以及二级压力调节腔；外部气体通过第一调节阀与所述一级压力调节腔连通；细微通道为N条，N≥1；细微通道的直径取值范围为0.01mm‑1mm；N条细微通道进口与所述一级压力调节腔连通，N条细微通道出口通过N个微调阀与所述二级压力调节腔连通；微调阀流量调节范围为0.5mL‑5mL；二级压力调节腔与外部待考核器件连通；所述一级压力调节腔、二级压力调节腔上均安装有真空规。 |
| 语种 | 中文 |
| 状态 | 授权 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/97004]  |
| 专题 | 环境试验中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王亚军,赛建刚,高斌,等. 一种高真空环境控制压力的进气装置. CN202020381461.9. 2021-01-15. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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