基于高次谐波的高功率高稳定13.5 nm极紫外光源
文献类型：期刊论文
| 作者 | 李逵1,2; 孟润宇3,4 ; 李睿晅1,2; 张光银1,2; 姚铭杰5; 徐豪1; 王雨童1; 李捷1,2; 张晓世1,3; 樊仲维2
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| 刊名 | 中国激光/Chinese Journal of Lasers
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| 出版日期 | 2024-04 |
| 卷号 | 51期号:07页码:172-179 |
| ISSN号 | 0258-7025 |
| 关键词 | 激光器 高次谐波 极紫外激光 13.5 nm光源 软X射线 飞秒激光 |
| DOI | 10.3788/CJL231507 |
| 其他题名 | High Power and High Stability 13. 5 nm Extreme Ultraviolet Light Source Driven by High⁃Order Harmonics |
| 产权排序 | 第4完成单位 |
| 英文摘要 | 开发了由高重复频率（3 kHz）高能量（3 mJ）钛蓝宝石激光器驱动的极紫外和软X射线高次谐波激光光源。该光源系统在30 nm（光子能量为～45 eV）波长附近实现了大于120μW的平均功率，在13.46 nm波长（光子能量为～92 eV）处实现了1.9μW的平均功率，其中在13.46 nm波长处带宽为0.124 nm的单个谐波实现了0.32μW的平均功率。此外，在该系统中，激光功率连续12 h的不稳定性均方根小于5%，连续8 h光束指向均方根小于10μrad。该系统在生物成像、干涉光刻和芯片检测等领域中具有重要应用。 |
| 学科主题 | 物理学 ; 光学 ; 激光物理 |
| 分类号 | O434 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 资助项目 | 国家重点研发计划[2021YFB3602600]; 国家自然科学基金青年科学基金[62005291]; 中国科学院项目[GJJSTD20200009]; 北京市科学技术委员会项目[Z221100006722008] |
| 语种 | 中文 |
| 资助机构 | 国家重点研发计划[2021YFB3602600] ; 国家自然科学基金青年科学基金[62005291] ; 中国科学院项目[GJJSTD20200009] ; 北京市科学技术委员会项目[Z221100006722008] |
| 版本 | 出版稿 |
| 源URL | [http://ir.ynao.ac.cn/handle/114a53/27129]  |
| 专题 | 云南天文台_丽江天文观测站（南方基地） |
| 作者单位 | 1.中国科学院空天信息创新研究院; 2.中国科学院大学光电学院; 3.云南大学物理与天文学院; 4.中国科学院云南天文台; 5.北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李逵,孟润宇,李睿晅,等. 基于高次谐波的高功率高稳定13.5 nm极紫外光源[J]. 中国激光/Chinese Journal of Lasers,2024,51(07):172-179. |
| APA | 李逵.,孟润宇.,李睿晅.,张光银.,姚铭杰.,...&樊仲维.(2024).基于高次谐波的高功率高稳定13.5 nm极紫外光源.中国激光/Chinese Journal of Lasers,51(07),172-179. |
| MLA | 李逵,et al."基于高次谐波的高功率高稳定13.5 nm极紫外光源".中国激光/Chinese Journal of Lasers 51.07(2024):172-179. |
入库方式： OAI收割
来源：云南天文台
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