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光子集成芯片的光耦合设计研究

文献类型:学位论文

作者郭丹丹
答辩日期2023-05-16
文献子类硕士
授予单位中国科学院大学
授予地点中国科学院半导体研究所
学位名称工学硕士
语种中文
源URL[http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/31576]  
专题半导体研究所_集成光电子学国家重点实验室
推荐引用方式
GB/T 7714
郭丹丹. 光子集成芯片的光耦合设计研究[D]. 中国科学院半导体研究所. 中国科学院大学. 2023.

入库方式: OAI收割

来源:半导体研究所

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