高数值孔径宽谱段折反射式物镜设计
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王超 ; 曲贺盟; 管海军; 王哈; 张继真; 谢晓麟; 王宁
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| 刊名 | 光学学报
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| 出版日期 | 2023 |
| 卷号 | 43期号:19页码:265-271 |
| 英文摘要 | 针对基因测序、半导体检测、工业显微镜及生命医疗等领域对显微物镜日益增长的技术需求，成像谱段向着宽谱段深紫外（DUV）方向发展，目前非浸液式显微物镜存在数值孔径（NA）低、视场小、宽谱段内色差严重等问题。基于此，提出一款折反射式物镜。所提折反射式物镜具有宽谱段、高数值孔径、消色差等优点，根据折反射式结构的消色差光学特性，镜片只采用一种材料就可以校正色差。系统由12片镜片组成，数值孔径为0.91，成像谱段为深紫外到可见光（275～600 nm），最大视场为0.3 mm，系统全视场全谱段波像差小于0.033λ，消除了二级光谱，成像质量满足使用要求。 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/68402]  |
| 专题 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 作者单位 | 1.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 2.长春长光智欧科技有限公司 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王超,曲贺盟,管海军,等. 高数值孔径宽谱段折反射式物镜设计[J]. 光学学报,2023,43(19):265-271. |
| APA | 王超.,曲贺盟.,管海军.,王哈.,张继真.,...&王宁.(2023).高数值孔径宽谱段折反射式物镜设计.光学学报,43(19),265-271. |
| MLA | 王超,et al."高数值孔径宽谱段折反射式物镜设计".光学学报 43.19(2023):265-271. |
入库方式： OAI收割
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