计算全息补偿检测自由曲面的高精度位姿测量
文献类型：期刊论文
| 作者 | 李雯研; 程强 ; 曾雪锋; 李福坤; 薛栋林; 张学军
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| 刊名 | 光学精密工程
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| 出版日期 | 2023-06-10 |
| 卷号 | 31期号:11页码:1581-1592 |
| 英文摘要 | 为实现自由曲面的定位与位姿高精度测量，提出了“光学-机械”基准定位法，建立了位姿测量模型，并对该方法的定位误差和基准选择展开研究。根据三坐标测量机与计算全息提出了“光学-机械”基准定位法。然后，采用球形安装的回射器（Sphere Mounted Retroreflector,SMR）、猫眼、基准球作为基准，基于波像差理论与视差效应分别建立了3种基准的位姿测量模型，得到了位置误差与基准区域波前像差的函数关系，并对3种位姿测量模型进行对比。最后，对3种基准位姿测量方法进行仿真及实验验证，实测结果与模型的残差结果均小于0.05λ，相对误差均小于2.43%，验证了模型的准确性。实验结果表明，当检测距离为1 000 mm时，猫眼法的轴向定位误差为24μm；基准球法的轴向定位误差为50μm;SMR靶球法的轴向定位误差为16μm,X,Y方向的定位误差为1μm，滚转角定位误差为3.26″。SMR靶球法的定位误差最小、检测动态范围最大且检测光学元件的自由度最多，更适用于自由曲面的高精度位姿检测。 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/68425]  |
| 专题 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 作者单位 | 1.中国科学院大学 2.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李雯研,程强,曾雪锋,等. 计算全息补偿检测自由曲面的高精度位姿测量[J]. 光学精密工程,2023,31(11):1581-1592. |
| APA | 李雯研,程强,曾雪锋,李福坤,薛栋林,&张学军.(2023).计算全息补偿检测自由曲面的高精度位姿测量.光学精密工程,31(11),1581-1592. |
| MLA | 李雯研,et al."计算全息补偿检测自由曲面的高精度位姿测量".光学精密工程 31.11(2023):1581-1592. |
入库方式： OAI收割
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