抑制光学系统中杂散光的非对称微结构的设计与加工
文献类型：期刊论文
| 作者 | 邵晶; 李卓; 聂真威; 董浩; 王英明; 孙军月; 张海涛 ; 赵发财
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| 刊名 | 光学学报
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| 出版日期 | 2023 |
| 卷号 | 43期号:11页码:181-188 |
| 英文摘要 | 为抑制光学系统内部的杂散光反射，设计了一种具有非对称特征的新型微结构。该微结构通过减少镜面反射的方式，防止外部杂散光到达光学系统像面位置。为实现对非对称微结构的激光高速加工制备，提出了激光振镜加工系统进行倾斜加工的新方式。设计了新型的高速激光加工平台，制备了非对称的铝基微结构，并搭建了镜面反射测试实验和仿真综合实验对样品进行对比测试。结果表明，加工样品对杂散光具有良好的抑制效果。当设定入射角度为15°、照明光束为650 nm激光时，该微结构与常规的阳极氧化表面相比，抑制杂散光的性能提高了10倍，相对反射率仅为0.008%。 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/68503]  |
| 专题 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 作者单位 | 1.中国电子科技集团公司第四十一研究所 2.中国科学院大学 3.北京长峰科威光电技术有限公司 4.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 5.工业流体节能与污染控制教育部重点实验室 6.青岛理工大学山东省激光绿色智能制造与设备协同创新中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 邵晶,李卓,聂真威,等. 抑制光学系统中杂散光的非对称微结构的设计与加工[J]. 光学学报,2023,43(11):181-188. |
| APA | 邵晶.,李卓.,聂真威.,董浩.,王英明.,...&赵发财.(2023).抑制光学系统中杂散光的非对称微结构的设计与加工.光学学报,43(11),181-188. |
| MLA | 邵晶,et al."抑制光学系统中杂散光的非对称微结构的设计与加工".光学学报 43.11(2023):181-188. |
入库方式： OAI收割
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