大量程高性能光栅位移测量技术
文献类型：期刊论文
| 作者 | 刘林; 刘兆武; 于宏柱; 王玮; 姜岩秀; 姜珊; 孙宇佳; 金思宇; 梁旭; 巴音贺希格 |
| 刊名 | 计测技术
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| 出版日期 | 2023-02-28 |
| 卷号 | 43期号:01页码:81-90 |
| 英文摘要 | 高精度光栅位移测量系统具有纳米级重复精度、环境适应性强、维度易于扩展等优点，可以满足精密制造行业对米级测量量程、亚微米级精度与多维测量能力融合的测量技术要求，在高端制造、精密仪器等领域有重要应用。通过对测量光栅的各项参数进行研究，提升了测量光栅的尺寸与制作精度；提出高精度锥面衍射光栅位移测量、高倍细分转向干涉光栅位移测量、“品”字形拼接大量程光栅位移测量等技术，实现了数百毫米测量量程亚微米级测量精度。从光栅制作到测量系统研制对提升精度、分辨力及量程提供了理论分析与技术验证。 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/68506]  |
| 专题 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 作者单位 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘林,刘兆武,于宏柱,等. 大量程高性能光栅位移测量技术[J]. 计测技术,2023,43(01):81-90. |
| APA | 刘林.,刘兆武.,于宏柱.,王玮.,姜岩秀.,...&李文昊.(2023).大量程高性能光栅位移测量技术.计测技术,43(01),81-90. |
| MLA | 刘林,et al."大量程高性能光栅位移测量技术".计测技术 43.01(2023):81-90. |
入库方式： OAI收割
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