博士学位论文—利用原子层沉积技术开展铂的成膜机理研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 颜铭铭 |
| 答辩日期 | 2023 |
| 文献子类 | 理学博士 |
| 授予单位 | 中国科学院大学 |
| 授予地点 | 北京 |
| 导师 | 伊福廷,张天冲 |
| 学位专业 | 凝聚态物理 |
| 其他题名 | Study of platinum film formation mechanism based on atomic layer deposition technique |
| 语种 | 中文 |
| 页码 | 161 |
| 源URL | [https://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/300922]  |
| 专题 | 多学科研究中心_学位论文和出站报告 |
| 作者单位 | 中国科学院高能物理研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 颜铭铭. 博士学位论文—利用原子层沉积技术开展铂的成膜机理研究[D]. 北京. 中国科学院大学. 2023. |
入库方式： OAI收割
来源：高能物理研究所
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