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基于惯性传感器的多自由度电容传感标定测试方法

文献类型:期刊论文

作者刘东旭; 王少鑫; 齐克奇; 董鹏; 郭纬川; 贾建军
刊名中国科学:物理学 力学 天文学
出版日期2024-06-21
卷号54期号:07页码:141-151
关键词电容传感 多自由度标定 敏感结构 零偏模型
ISSN号1674-7275
英文摘要电容传感器是实现空间任务中高精度位移探测的关键部件,受到敏感结构加工误差以及电子学器件精度的影响,系统电路的实际增益往往与理论之间存在一定差异.本文以差分放大电路为核心,对电容传感电路各环节的理论模型进行分析,并在此基础上构建了其增益及零偏模型.同时结合敏感结构工程样机开展了相关的标定实验,实现了多自由度上位移到电压的精确高效标定.此外,还提出了一种与之相对应的调制标定方法,能够有效地降低低频扰动造成的干扰,并通过实验验证了该标定方案的可行性以及零偏模型的准确性.结果显示,在未进行温控调节的情况下,各通路在多次测试下所得的标定增益系数的RMSPER值均小于0.2‰.
分类号二类
语种中文
CSCD记录号CSCD:7775297
资助机构国家重点研发计划(编号:2020YFC2200104)资助项目
其他责任者王少鑫
源URL[http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/96674]  
专题力学研究所_国家微重力实验室
作者单位1.中国科学院上海技术物理研究所
2.中国科学院上海光学精密机械研究所
3.中国科学院大学
4.中国科学院力学研究所
5.国科大杭州高等研究院
推荐引用方式
GB/T 7714
刘东旭,王少鑫,齐克奇,等. 基于惯性传感器的多自由度电容传感标定测试方法[J]. 中国科学:物理学 力学 天文学,2024,54(07):141-151.
APA 刘东旭,王少鑫,齐克奇,董鹏,郭纬川,&贾建军.(2024).基于惯性传感器的多自由度电容传感标定测试方法.中国科学:物理学 力学 天文学,54(07),141-151.
MLA 刘东旭,et al."基于惯性传感器的多自由度电容传感标定测试方法".中国科学:物理学 力学 天文学 54.07(2024):141-151.

入库方式: OAI收割

来源:力学研究所

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