用于多自由度电容位移传感器的标定装置和校准方法
文献类型：专利
| 作者 | 王少鑫; 齐克奇; 郭纬川; 刘东旭 ; 詹璇; 罗子人
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| 发表日期 | 2024-08-13 |
| 专利号 | CN117760468B |
| 著作权人 | 中国科学院力学研究所 |
| 英文摘要 | 本发明实施例公开了一种用于多自由度电容位移传感器的标定装置和校准方法,包括：悬挂调节结构,包括悬挂机构和调节机构；电极笼,通过多组相对设置的电极板组件围合形成具有容纳腔的笼状结构,电极板组件上电连有用于接收电极板组件上电信号的信号接收组件；多自由度驱动结构,用于放置电极笼,且能够以μrad和nm级精度驱动电极笼以至少一根转动轴为轴转动和/或沿至少一个方向移动；电极笼倾斜调整结构,用于调节电极笼与检验质量之间的倾斜角度。本发明通过对悬挂部分和底部的放置部分的设置,实现刚性检验质量与笼式检测部分的精确对准,进而通过简单的操作即可满足电容传感器多自由度标定的需求,同时还能够拥有超高的测量精确度。 |
| 分类号 | 发明授权 |
| 申请日期 | 2024-01-05 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/97360]  |
| 专题 | 力学研究所_国家微重力实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王少鑫,齐克奇,郭纬川,等. 用于多自由度电容位移传感器的标定装置和校准方法. CN117760468B. 2024-08-13. |
入库方式： OAI收割
来源：力学研究所
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