一种高精度微流量气体控制装置和标定方法
文献类型：专利
| 作者 | 贺建武 ; 马隆飞; 杨超; 康琦; 段俐; 尹永利
|
| 发表日期 | 2024-04-09 |
| 专利号 | CN116149385B |
| 著作权人 | 中国科学院力学研究所 |
| 英文摘要 | 本发明公开了一种高精度微流量气体控制装置和标定方法,其特点是：主气路供气模块、近端两支气路供气模块、远端两支气路供气模块分别设有独立的限流器、以及独立的气容,限流器能够实现0.01sccm气体流量控制,气容专门针对卫星推进系统点火工作环节而设置；卸压与标定模块借助标准流量控制器和传感器对整个控制装置的气体流量进行标定,达到0.01scm的误差；该方法包括在真空环境下,分别设定流量控制器气体流量；通过电磁阀a将气体通入主气路中,直至压力传感器Pb测得的主气路气容压力稳定,此时的主气路气容压力值与四个分支气路的设定气体流量值相对应；本发明解决了现有技术采用常规的电磁阀控制供气的方法达不到所要求的0.01sccm以内的气体流量精度控制问题。 |
| 分类号 | 发明授权 |
| 申请日期 | 2022-12-03 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/97414]  |
| 专题 | 力学研究所_国家微重力实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 贺建武,马隆飞,杨超,等. 一种高精度微流量气体控制装置和标定方法. CN116149385B. 2024-04-09. |
入库方式： OAI收割
来源：力学研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。